Технология

Нанесение покрытий при помощи технологий PVD, PACVD и CVD

Центр по нанесению покрытий располагает всеми 3-мя технологиями нанесения покрытий: CVD, PACVD и PVD.

аббрев Название технологии температура нанесения покрытия Оборудование
CVD Chemical Vapour Deposition 900 - 1100 °C Установка CVD
PACVD Plasma Asisted Chemical Vapour Deposition 450 - 550 °C Ruebig
PVD Physical Vapour Deposition 180 - 550 °C Hauzer Fx 850
Hauzer Fx 1200

 Широкий спектр наносимых покрытий толщиной 1-30 мкм указан в следующей таблице.

Спецификация отдельных технологий нанесения поверхностных покрытий

CVD

  • температура нанесения покрытия 900 - 1000 °C
  • толщина покрытия 10-15 мкм
  • твердость 2000 HV
  • закалка и отпуск после нанесения покрытия

Преимущества:

  • закрытие пор и пустот
  • закрытие сквозных и несквозных отверстий, в том числе очень тонких
  • для высокопроизводительных инструментов с высокими требованиями к абразивной износостойкости

Недостатки:

  • чистовая обработка стальных инструментов возможна только после нанесения покрытия

PACVD

  • температура нанесения покрытия 450 - 550 °C
  • макс. толщина покрытия 4 мкм
  • твердость 2000 - 2600 HV
  • окончательная термообработка перед нанесением покрытия
  • плазменное азотирование

Преимущества:

  • закрытие пор и пустот
  • закрытие сквозных и несквозных отверстий, в том числе очень тонких
  • высокая устойчивость к налипанию цветных металлов и пластмасс
  • повышенная устойчивость к тепловой усталости

Недостатки:

  • постоянная высокая температура при нанесении покрытия для некоторых инструментальных сталей
  • ограниченный выбор типов покрытий

PVD

  • температура нанесения покрытия 180 - 550 °C
  • макс. толщина покрытия 6 мкм
  • твердость 1500 - 4000 HV
  • окончательная термообработка перед нанесением покрытия
  • плазменное азотирование

Преимущества:

  • возможность нанесения покрытий даже при очень низких температурах (низкое влияние тепла на основной материал инструмента)
  • покрытия DLC (Diamond Like Carbon) с низким коэффициентом трения

Недостатки:

  • Не закрывает отверстия и щели